设备特点
1.采用高精度DD马达旋转对位，+/-2μm；
2.3组CCD视觉定位，屏幕三角落量测, 垂直方向、水平方向、角度；
3.主动贴合保压5s。
产品参数
| 序号 | 项目 | 规格 |
|---|---|---|
| 1 | 设备外形尺寸（L/W/H） | 1000*1300*1800mm |
| 2 | 适用载具尺寸规格 | 100-300mm |
| 3 | 产能（UPH） | 180PCS |
| 4 | 设备装配精度 | +/-0.01mm |
| 5 | CCD对位精度 | +/-5μm |
| 6 | θ轴旋转角度 | ± 0.002° |
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