设备特点
1. 加工速度快、接触时间短，热影响小
2. 较高的脉冲能量瞬间刻蚀掉材料的表面，以实现刻蚀深度和范围的精确控制。
生产工艺
主流程：上料→划线→检测→下料
产品参数
| 序号 | 项目 | 规格 |
|---|---|---|
| 1 | 设备尺寸 | 1600mm*1400mm*1800mm |
| 2 | 平台精度 | ±5μm（100mm） |
| 3 | 运动平台 | 大理石+气浮模组+光栅尺 |
| 4 | 激光器 | 红外激光和绿光 P1:<30±5μm |
| 5 | 控制系统 | PC-Base控制+CCD |
| 6 | 行程 | X>200mm Y>400mm |
| 7 | 真空吸附尺寸 | 200mm*400mm（可定制） |
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