1、高刚性设计确保真空度及长时间稳定性；

 2、快速闪抽能力 10Pa ≤ 10s； 

3、快慢抽真空真空压力曲线多段可调； 

4、一体成型机构，确保设备工作稳定性 ；

5、多重检测，确保精度、洁净度及稳定性 ；

6、前置过滤器+干泵避免油气 污染腔室；